面積（m²）

潔 凈 度

100級(jí)和高于100級(jí)

1000級(jí)

10000級(jí)

100000級(jí)

小于10

2~ 3

2

2

2

10

4

3

2

2

20

8

6

2

2

40

16

13

4

2

100

40

32

10

3

200

80

63

20

6

400

160

126

40

13

1000

400

316

100

32

2000

800

633

200

63